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產品展示

Product display

主動消振系統

簡要描述:Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導體工具而設計的主動消振系統。這些工具不但需要極其有效的消振性能,它們還要求由平臺引起的有效載荷運動能夠非常快速地穩定,以最大限度地提高工具吞吐量。

  • 產品型號:Stage-Base 450
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-11-22
  • 訪  問  量:773
詳細介紹
品牌TMC價格區間面議
產地類別進口應用領域能源,航空航天,汽車及零部件,電氣,綜合

名稱:主動消振系統Stage-Base

型號:Stage-Base 450

 

TMC繼續在優良技術的基礎上開發新的解決方案,以滿足半導體工具對其隔振系統提出的挑戰性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導體工具而設計的主消振系統。這些工具不但需要極其有效的消振性能,它們還要求由平臺引起的有效載荷運動能夠非常快速地穩定,以最大限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM,可以縮短穩定時間,進一步提高吞吐量,從而為移動平臺應用提供*優良的主動振動和運動消除系統。

主動消振系統 

Stage-Base 450優勢

Stage-Base 450采用了下一代主動硬安裝壓電消振集成音圈技術。只有TMC可以提供這種*特的高級低頻消振串行型技術,通過使用音圈電機(VCM),實現了主動移動平臺運動消除。

Stage-Base 450下一代主動控制系統采用TMC的STACIS技術,使用壓電致動器和串行式架構中的剛性懸架實現了*越的消振。這實現了始于0.6 Hz的業內*佳地面隔振,響應于平臺力的初始偏轉明顯更小。

規格

采用*特的STACIS®技術

采用高力、加長行程的壓電致動器

有效載荷的位置可重復性在微米以內

框架安裝設計

6個主動自由度

可選的VCM前饋和/或反饋

始于0.6 Hz的主動隔振

響應平臺運動的快速穩定時間

無軟空氣懸架

通過USB 2.0實現基于PC的圖形用戶界面(GUI)的高速數字控制器

簡單、堅固且經濟高效

 

性能

主動消振系統 

主動消振系統 

 

應用照片

主動消振系統 

主動消振系統 

 

 

 

 


 


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