工作原理：

　　安裝有測量和制造設備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設備造成不利影響，有效的解決方案則是使用隔振臺（減振臺），以便營造適合該設備的條件。使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監測振動，并基于該信息，執行器沿相反方向產生作用力，并繼續產生的振動隔離狀態。它擅長于10Hz以下的低頻范圍內的隔振。

　　內部結構有彈簧零件，主要目的是利用可變形的作用進行吸收能量，從而減少設備上的振動，雖然效果很好，但共振放大之后就會有些嚴重；除此之外，還有橡膠材質，跟彈簧的一樣，主要是通過變形吸收熱量，不同的是，橡膠能吸收各個方向的；就是一個氣動平臺的系統，通過壓縮空氣活塞來減少地面的振動。

　　

　　主動隔振臺采用的隔振技術，適用于任何研究情況下，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。平臺利用控制器內的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉換為電信號發送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產生一個與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統利用一個反饋回路來消除隔振系統的機械共振?？蔀閷嶒炇抑袑φ饎用舾械脑O備如電鏡，光學器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩定的測試環境。

　　

　　應用范圍：

　　超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）

　　光刻工具

　　高精度計量工具

　　光譜儀器